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XXY对位平台, XYθ轴平移台, uvw平台, 视觉对位平台 XXY对位平台广泛应用于光学测量仪器,晶圆对准,LCD面板检测,半导体处理,激光切割和钻孔,复合机等。 产品规格:XXY500-125-500、XXY550-130-550、XXY600-130-600、XXY650-105-650
产品规格:
以XXY500-125-500为例:
工作台尺寸 (mm) 500×500
基座尺寸 (mm) 500×500
高度 (mm) 125
行程 (mm) ±12
动作角度 ±3°
平行度 (mm) ±0.02
驱动电机
100W 伺服马达 /57 步进
驱动螺杆 1202
建议动荷重 300KG
静态荷重 1200KG
表面处理 黑色阳极氧化
精度等级
H 级:2μm
S 级:5μm
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