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XXY对位平台, XYθ轴平移台, uvw平台, 视觉对位平台 XXY对位平台广泛应用于光学测量仪器,晶圆对准,LCD面板检测,半导体处理,激光切割和钻孔,复合机等。 产品规格:XXY100-45-120
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工作台尺寸 (mm) 100×100 基座尺寸 (mm) 120×120 高度 (mm) 45 行程 (mm) ±2 动作角度 ±5.5° 平行度 (mm) ±0.02 驱动电机 20 型开环步进马达 驱动螺杆 0601 建议动荷重 5KG 静态荷重 20KG 额定移动速度 5mm/s 表面处理 黑色阳极氧化 重复定位精度 H 级:2μm S 级:5μm
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