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XXY对位平台, XYθ轴平移台, uvw平台, 视觉对位平台 XXY对位平台广泛应用于光学测量仪器,晶圆对准,LCD面板检测,半导体处理,激光切割和钻孔,复合机等。 产品规格: XXY200-60-210
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工作台尺寸 (mm) 200×200 基座尺寸 (mm) 210×210 高度 (mm) 60 行程 (mm) ±5 动作角度 ±3° 平行度 (mm) ±0.02 驱动电机 28 型步进马达 驱动螺杆 0601 建议动荷重 30KG 静态荷重 150KG 表面处理 黑色阳极氧化 精度等级:H 级:2μm / S 级:5μm
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