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XXY对位平台 XXY250-62-310 XXY对位平台, XYθ轴平移台, uvw平台, 视觉对位平台 XXY对位平台广泛应用于光学测量仪器,晶圆对准,LCD面板检测,半导体处理,激光切割和钻孔,复合机等。 产品规格:XXY250-62-310
产品规格:
工作台尺寸 (mm) 250×250
基座尺寸 (mm) 310×310
高度 (mm) 62
行程 (mm) ±5
动作角度 ±2.5°
平行度 (mm) ±0.02
驱动电机 28 型步进马达
驱动螺杆 0601
建议动荷重 30KG
静态荷重 120KG
表面处理 黑色阳极氧化
精度等级
H 级:2μm
S 级:5μm
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